电火花线切割机的单轴直线度，XY垂直度和系统回差是造成误差的主要原因。

快走丝线切割机，都没实现闭环控制，机械传动系统的回差已成为整机精度的重要指标，回差大体来自如下5个方面。 

齿轮间隙，主要是步进电机与丝杠间的传动齿轮。 

连接键的间隙，特别是丝杠上的大齿轮，点滴的间隙在回差上的反应都是不可忽视的。电机轴键间隙的影响不仅有回差，还拌有噪音。 

丝杠与丝母间的间隙，出厂后丝杠付的轴向传动间隙通常在0.003以下，质差的产品则不太有保证。 

丝杠轴承间隙，这个间隙是靠轴承的内外环的轴向调整的，但如果轴承质量低劣，会在间隙后转动极不灵活，一旦转动轻快了就又有间隙了，所以该处的轴承是不可马虎的。 

力矩传递的整体刚性较差，造成柔弱部位的挠性变形使运动变得迟钝滞后，也以间隙的方式体现出来。

以上5个方面，共同造成了系统回差，实际加工中，即使是 简单的封闭图形，也到少有两次排除回差，所以实际加工精度一般在不可的回差的两倍左右。如果系统回差是0.006，那么加工精度在0。012是有可能的。 

两轴的垂直度和各轴的直线度是造成位移失真失准另一主要原因。位移失真失准就是电火花线切割机工作中座标位移的误差。只是这个误差的量是随机的，难以估算的。