中走丝线切割加工中同内圆切割技术相比还是有其明显的弱点，

一、片厚平均误差较大（约为内圆切割技术2倍）。

二、切割过程中智能检测控制不容易实现。

三、切割过程的成功率要求较高，风险大，一但断丝而不可挽救时，直接浪

费一根单晶棒。

四、不能实现单片质量控制，一次切割完成后，才能检测一批圆片的切割质

量，并且圆片之间切割质量也不相同。

在这些方面，电火花线切割内圆切割技术却显示出其优势来。具体表现在：

    a、自动、单片方式切换操作方便性。

    b、小批量多规格加工时灵活的加工可调性。

    c、切片精度高，切片成本低，同规格级的内圆切片机价格为线切割机价格1/3～1/4，线切割机还需配置专用粘料机，每片都可调整。

    d、低成本的辅料（线切割机磨料及磨料液要定时更换）。

    e、不同片厚不同棒径所需较小的调整时间。

f、修刀、装刀方便。